気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器軽接触気化器
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明二流体ノズルと気化室下部のブローアップガスにより、液相での気化室壁面との接触を低減した気化器。

高効率の気化を実現する二流体ノズルと、気化室下部からのブローアップガスにより、気化室側面に接触を低減。これにより、熱変質を抑える事を実現。熱に対して不安定な物質でも安定的に気化供給が可能。

気化容積の大きさはVU-920、VU-912の2種類。気化流量に合わせて気化器選定が可能。

■特長・高効率気化
・軽接触気化
・メンテナンス性
・バルブ近接

■オプションバルブレス

使用例
■熱変質性液体の気化ブローアップガスにより気化室内に滞留する気化ガスを押し出します。また、気化室壁面に衝突する前にブローアップガスと合流する為、温度変化の大きな気化室壁面との接触を軽減することが出来ます。熱変質による生成物を発生が懸念される有機金属や重合が懸念されるシラン系材料の液体の気化供給に最適です。

■シリーズ概要・VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・熱に対して不安定な Low-k、High-k、各種メタルなどの気化供給に最適
・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室でブローアップガスによりミスト化されることで効率よく気化
・耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器軽接触気化器

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器軽接触気化器品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (H2O)	キャリアガス流量 (01)	必要差圧	耐圧	バルブ動作 (アクチュエータありを選択の場合)	最大消費電力 (120V)	最大消費電力 (240V)	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接ガス部材質	シール材	バルブ方式	取付姿勢	重量
	VU-920N	要見積もり	5g/min	0.8-1.5SLM	50~300kPa	1MPa (G)	ノーマリクローズ	800W	800W	K Type 1pc	PID	300℃	350℃±9℃ Open	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,Ni-Co,ポリイミド	Au	ソレノイドアクチュエータ	コネクタ上方、配管ライン水平	5kg