全てのカテゴリ

閲覧履歴

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器-VU-920N
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器-株式会社リンテック

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器
株式会社リンテック



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■製品説明

二流体ノズルと気化室下部のブローアップガスにより、液相での気化室壁面との接触を低減した気化器。 高効率の気化を実現する二流体ノズルと、気化室下部からのブローアップガスにより、気化室側面に接触を低減。これにより、熱変質を抑える事を実現。熱に対して不安定な物質でも安定的に気化供給が可能。 気化容積の大きさはVU-920、VU-912の2種類。気化流量に合わせて気化器選定が可能。

■特長

・高効率気化 ・軽接触気化 ・メンテナンス性 ・バルブ近接

■オプション

バルブレス 使用例

■熱変質性液体の気化

ブローアップガスにより気化室内に滞留する気化ガスを押し出します。また、気化室壁面に衝突する前にブローアップガスと合流する為、温度変化の大きな気化室壁面との接触を軽減することが出来ます。熱変質による生成物を発生が懸念される有機金属や重合が懸念されるシラン系材料の液体の気化供給に最適です。

■シリーズ概要

・VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。 ・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴

・ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給 ・熱に対して不安定な Low-k、High-k、各種メタルなどの気化供給に最適 ・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室でブローアップガスによりミスト化されることで効率よく気化 ・耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上

  • シリーズ

    気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器

この製品を共有する


40人以上が見ています


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

気化器注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大気化流量 (H2O) キャリアガス流量 (01) 必要差圧 耐圧 バルブ動作 (アクチュエータありを選択の場合) 最大消費電力 (120V) 最大消費電力 (240V) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 シール材 バルブ方式 取付姿勢 重量
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 軽接触気化器-品番-VU-920N

VU-920N

要見積もり

5g/min

0.8-1.5SLM

50~300kPa

1MPa (G)

ノーマリクローズ

800W

800W

K Type 1pc

PID

300℃

350℃±9℃ Open

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L,Ni-Co,ポリイミド

Au

ソレノイドアクチュエータ

コネクタ上方、配管ライン水平

5kg

この商品を見た方はこちらもチェックしています

気化器をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

もっと見る

  • 本社所在地: 滋賀県
Copyright © 2025 Metoree