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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器-VU-0462N-T23
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器-株式会社リンテック

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

最高設定温度300℃の高温設定が可能で、VU-550に比べて気化室を拡大。ヒータパワーをアップし気化出口の距離を延長した大流量気化器。 Auシール採用により、最高加熱温度300℃お実現。 気化室を従来品より拡大し、大流量気化でも気化効率を最適化。ヒータパワーもリンテック気化器最大出力の240V、2400Wヒータを搭載。 液体マスフローと連動させるバルブはピエゾ、ソレノイド、なしの選べる3タイプ。

■特長

・高効率気化 ・メンテナンス性 ・バルブ近接 ・最高使用温度300℃ ・出口加熱距離アップ ・バルブ選択可能 使用例

■高濃度大流量気化

気化器設定温度を最高300℃に設定可能です。その為、少量のキャリアガスでも安定気化が可能。高濃度での気化供給が必須のプロセスに最適です。

■過加熱蒸気の発生源

LM-3700と組み合わせる事で、最大H2O 15g/minの気化が可能です。実験だけでなく生産設備として圧力変動の少ない過加熱蒸気蒸気発生源として生産設備に最適です。

■シリーズ概要

・VU-462シリーズは、ソレノイドアクチュエータ、ピエゾアクチュエータ、アクチュエータ無の3種類から選択可能な気化器です。 ・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴

・各種アクチュエータが選択可能のため、用途別に最適な気化供給システムの構築が可能 ・VU-450シリーズに比べ、気化容積を大きくし、Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適 ・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化 ・耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上 ・Gas Outlet までの距離を長くすることにより、ミスト (未気化) の排出を抑制

  • シリーズ

    気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大気化流量 (TEOS) 最大気化流量 (H2O) キャリアガス流量 (01) キャリアガス流量 (02) キャリアガス流量 (03) キャリアガス流量 (04) キャリアガス流量 (05) キャリアガス流量 (06) キャリアガス流量 (07) 耐圧 バルブ動作 (アクチュエータありを選択の場合) 最大消費電力 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 シール材 取付姿勢 重量
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高温高効率大流量気化器-品番-VU-0462N-T23

VU-0462N-T23

要見積もり

50g/min

15g/min

0.8-1.5SLM

1.5-3SLM

3-6SLM

6-10SLM

10-14SLM

14-20SLM

20-40SLM

1MPa (G)

ノーマリクローズ

240V 2,400W

K Type 1pc

PID

200℃

230℃±10℃ Open

5×10-6Pa・m3/sec He

SUS316L,Ni-Co,ポリイミド

Au,カルレッツ

アクチュエータ上方垂直方向

9kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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