気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-440】-VU-0440N

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-440】
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明高効率の二流体ノズル気化器構造を採用し気化室を拡大、気化出口を改良する事で未気化排出を抑えた最新モデル。

VU-450より気化室容積を大型にする事で対流時間と熱交換面積を改善。大流量気化を実現。

Gas Outletまでの距離を長くすることにより、ミスト (未気化) の排出を抑制。

Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適。

バルブ一体型気化器の為、LM-3000Lと組み合わせる事で気化器直近で液体流量制御。応答性の高い気化流量制御が可能。

■特長・高効率気化
・メンテナンス性
・バルブ近接
・出口加熱距離アップ

使用例
■半導体材料の気化供給CVD、ALD気化室を大きくする事で、中心の二流体ノズルから噴霧されたミストはVU-450よりも拡散。ヒータWをアップしてTEOSで30g/min、H2Oで5g/minの大流量気化が安定的に可能です。

■シリーズ概要・VU-440シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・VU-450シリーズに比べ、気化容積を大きくし、Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適
・最適化されたダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化
・耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上
・Gas Outletまでの距離を長くすることにより、ミスト (未気化) の排出を抑制

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-440】

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-440】品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (TEOS)	最大気化流量 (H2O)	キャリアガス流量 (01)	キャリアガス流量 (02)	キャリアガス流量 (03)	キャリアガス流量 (04)	キャリアガス流量 (05)	キャリアガス流量 (06)	キャリアガス流量 (07)	耐圧	バルブ動作 (アクチュエータありを選択の場合)	最大消費電力	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接ガス部材質	シール材	取付姿勢	重量
	VU-0440N	要見積もり	30g/min	5g/min	0.8-1.5SLM	1.5-3SLM	3-6SLM	6-10SLM	10-14SLM	14-20SLM	20-40SLM	1MPa (G)	ノーマリクローズ	240V,960W	K Type 1pc	PID	200℃	230℃±10℃ Open	5×10-6Pa･m3/sec He	SUS316L,Ni-Co,ポリイミド	Au,カルレッツ	アクチュエータ上方垂直方向	9kg