気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-450】-VU-0450N

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-450】
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明二流体ノズルの高効率気化と大型の気化室による大流量、高効率な気化器。

液体ノズルとキャリアガスノズル (0.8~180SLM) の二流体ノズルによる高効率気化。VU-430より気化室容積を大型にする事で対流時間と熱交換面積を改善。大流量気化を実現。

バルブ一体型気化器の為、LM-3000Lと組み合わせる事で気化器直近で液体流量制御。応答性の高い気化流量制御が可能。

■特長・高効率気化
・メンテナンス性
・バルブ近接構造

使用例
■大流量の気化気化室を大きくする事で、中心の二流体ノズルから噴霧されたミストはVU-430よりも拡散。TEOSで20g/min、H2Oで5g/minの大流量気化が安定的に可能です。

■シリーズ概要・VU-450シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・VU-430Aシリーズに比べ、気化容積を大きくし、Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、大流量の気化供給に最適
・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-450】

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器高効率気化器【VU-450】品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (TEOS)	最大気化流量 (H2O)	キャリアガス流量 (01)	キャリアガス流量 (02)	キャリアガス流量 (03)	キャリアガス流量 (04)	キャリアガス流量 (05)	キャリアガス流量 (06)	キャリアガス流量 (07)	耐圧	バルブ動作	最大消費電力 (L1)	最大消費電力 (L2)	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接ガス部材質	シール材	バルブ方式	取付姿勢	重量
	VU-0450N	要見積もり	20g/min	5g/min	0.8-1.5SLM	1.5-3SLM	3-6SLM	6-10SLM	10-14SLM	14-20SLM	20-40SLM	1MPa (G)	ノーマリクローズ	120V,800W	240V,800W	K Type 1pc	PID	200℃	230℃±10℃ Open	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,Ni-Co,ポリイミド	Au	ソレノイドアクチュエータ	アクチュエータ上方垂直方向	6kg