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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】-VU-0430N
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】-株式会社リンテック

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

液体ノズルとキャリアガスノズルの二流体ノズルによる高効率気化器。 液体ノズルとキャリアガスノズル (0.05~4SLM) の二流体ノズルが気化室直前で合流し液体を微細に噴霧。微細化された液体は、輻射熱により高効率の液体気化が可能。 気化室上部に液体制御用バルブが液体マスフローメータ (LM-3000L) の流量信号を受けバルブ開度を調節。流量を制御する事で安定的な気化供給が可能。

■特長

・高効率気化 ・メンテナンス性 ・バルブ近接構造 使用例

■低蒸気圧材料の気化

最高温度200℃の耐熱構造と二流体ノズルによりLow-K,High-k、各種メタルなど、低蒸気圧材料でも高効率で安定的な液体気化供給を実現。ヒータブロックの温調を側面と底面に分ける事で、精密な温度制御が可能。熱変性しやすい材料にも繊細な温度管理が可能。

■シリーズ概要

・VU-430Aシリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した小型気化器です。 ・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴

・ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給 ・Max200℃のコンパクト設計により、Low-k、High-k、各種メタルなど、低蒸気圧、小流量の気化供給に最適 ・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室で輻射熱により効率よく気化 ・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上

  • シリーズ

    気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大気化流量 (TEOS) 最大気化流量 (H2O) キャリアガス流量 (VU-0430N-03) キャリアガス流量 (VU-0430N-02) キャリアガス流量 (VU-0430N-01) 必要差圧 耐圧 バルブ動作 最大消費電力 (VU-0430N-L1) 最大消費電力 (VU-0430N-L2) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 シール材 バルブ方式 空圧アクチュエータ動作圧 (NCタイプ) 取付姿勢 重量
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 高効率気化器【VU-430】-品番-VU-0430N

VU-0430N

要見積もり

10g/min

1.0g/min

0.05-1.0SLM

1-2SLM

2-4SLM

50~300kPa

1MPa (G)

ノーマリクローズ

120V,180W

240V,625W

K Type 2pcs

PID

200℃

230℃±10℃ Open

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L,Ni-Co,ポリイミド

Au

ソレノイドアクチュエータ

500~600kPa (G)

アクチュエータ上方垂直方向

2.2kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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