気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器小型気化器
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明ピエゾバルブを搭載した微小流量小型液体気化器。

高速、高精度での微小流量制御が可能なピエゾアクチュエータを気化室直近に搭載。デッドボリュームの少ない構造。

TEOS:7g/min、H2O:0.5g/minの小型気化器。キャリアガス (最大流量14SLM) と流量制御された液体を混合させて気化室に導入する事で安定的な供給が可能。

■特長・微小流量気化
・メンテナンス性
・バルブ近接構造

使用例
■真空･大気条件での小流量気化小型なボディーで連続的な微小流量でも精密な流量気化供給を実現。二次側圧力条件に関わらず、安定的な小流量気化を実現。

■TEOS,TEB,TEPO気化供給半導体製造工程で多く使用されるTEOSだけでなく、TEBやTEPOなど様々な液体供給が可能。また、気化器を直列で同時に複数液の気化供給が可能。

■シリーズ概要・VU-206シリーズは、ピエゾアクチュエータを搭載した気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・ピエゾアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・Max160℃のコンパクト設計
・耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス 性が向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器小型気化器

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器小型気化器品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (TEOS)	最大気化流量 (H2O)	キャリアガス流量	必要差圧	耐圧	バルブ動作	最大消費電力 (120V)	最大消費電力 (240V)	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接ガス部材質	シール材	バルブ方式	空圧アクチュエータ動作圧 (NCタイプ)	取付姿勢	重量
	VU-0206N	要見積もり	5g/min	0.5g/min	0.1-14SLM	50~300kPa	1MPa (G)	ノーマリオープン	100W	100W	K Type 1pc	PID	160℃	180℃±15℃ Open	1×10-11Pa･m3/sec He	SUS316L,Ni-Co,ポリイミド	Au	ピエゾアクチュエータ	500~600kPa (G)	キャリアガス入口または空圧アクチュエータ上方垂直方向	1.4kg