マスフローコントローラ電源/気化器温調器マスフローコントローラ用インラインモニタ-IM-10

マスフローコントローラ電源/気化器温調器マスフローコントローラ用インラインモニタ
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明MFCとの設定電圧、出力電圧等の電圧状態の確認が行えるマスフローコントローラ専用の動作チェック機器です。また、低消費電力の電圧計が内蔵されており、装置からの信号、MFCから装置への信号が正常かどうか、モニタすることができ、動作不良時の原因追及が容易となります。

■接続例マスフローコントローラと装置電源との間に接続、またはマスフローコントローラと電源表示設定器 (RP-310) との間に本器を接続し、各種信号、電圧の計測、確認を行います。

■計測機能・電源電圧 (±15VDC) 
・流量設定電圧 (0-5VDC) 
・流量出力電圧 (0-5VDC) 
・バルブ開閉電圧 (±15VDC) 
・シェル電圧

■シリーズ概要IM-10は、マスフローコントローラー及びマスフローメータの動作を確認するための製品です。

■シリーズ特徴・動作状態で入出力電圧信号を確認可能
・信号数値は液晶モニタに表示
・バスパワー動作のため電源不要

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マスフローコントローラ電源/気化器温調器マスフローコントローラ用インラインモニタ

取扱企業
株式会社リンテック

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マスフローコントローラ電源/気化器温調器マスフローコントローラ用インラインモニタ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	適用MFC機種	測定機能	精度 (20℃±10℃のとき)	入力インピーダンス	サンプリング速度	所要電源	消費電流	使用温度	使用コネクタ
	IM-10	要見積もり	Dsub 9pinコネクタタイプMFC	・電源電圧 (±15VDC) ・流量設定電圧 (0~5VDC) ・流量出力電圧 (0~5VDC) ・バルブ開閉電圧 (±15VDC) ・シェル電圧	±0.1％	10MΩ以上	2times/sec	±15V (MFC用電源と共用)	1mA	5~45℃	・In：Dsub 9pin ・Out：Dsub 9S