RF位相シフター
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この製品について

■特長・多チャンネルに対応：2~16CH
・クローズドループ方式によりRF電源内部での位相シフトをキャンセルさせる
・外部からのリモート設定が可能
・位相設定範囲が広く、基準信号からの遅れ／進み両方向にも対応

■概要位相シフターは、2つ以上のRF電源の出力の位相差を自由に設定制御します。エッチング等の半導体製造工程にて、位相差を最適値に設定・制御することにより効率よくエッチングを行うことが可能となります。

■RF位相シフター2台のRF (高周波) 電源の出力の位相差を自由に設定制御します。これは半導体製造工程にてひとつの真空反応室に複数のRF電源の出力を供給する場合にこの2つのRF電源出力の位相差を制御することにより安定した処理結果を得るための技術です。

特にエッチング装置においてこの位相差が重要となります。この位相差を最適値に設定し制御することによりエッチングを効率よく安定した状態で行えます。

■P.R.A製位相シフターの開発従来の位相シフターではコイルやキャパシタを用いたオープンループ方式を採用しているため、以下に示す問題が発生してしまいます。
・RF電源の出力の変化によって位相遅れが発生
・手動設定が基本で外部からのリモート設定が困難
・位相設定範囲が狭く、基準信号に対して遅れ方向のみ対応

当社ではクローズドループ方式を採用することによって、以上の問題点を解消し、多チャンネルの対応を可能とした位相シフターを開発いたします。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
RF位相シフター

取扱企業
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RF位相シフター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源電圧	制御範囲	設定方法	周波数	位相差表示	位相ロック表示	表示分解能	制御精度
	RF位相シフター	要見積もり	100~240VAC、50／60Hz	0~±180度	ローカル及びリモート	2MHz~13.56MHz	デジタル表示	LEDランプ (緑)	1度	±0.5％±1Digit