プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP1000B
ヤマトマテリアル株式会社

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この製品について

■概要同軸石英バレル型プラズマアッシャープラズマクリーナー。パワー半導体、光通信デバイスなどの化合物半導体SiC、GaN、酸化ガリウム等のウエハのレジストアッシングに最適。等方性プラズマクリーニング装置。同軸構造によりウエハへのダメージを軽減。50枚一括処理が可能な同軸型プラズマアッシング装置もございます。

ヤマトマテリアルでは開発から量産までのプロセス用プラズマ装置を販売。お客様のご要望に応じてカスタム対応も承っております。

■バッチ式アッシング装置YSP1000B同軸電極構造のバレル型プラズマアッシャー装置です。ウエハへのダメージを軽減できる同軸型電極構造です。化合物半導体デバイスの開発用や長年ご使用されたアッシング装置の更新時に広くご採用頂いております。

標準機の石英チャンバーのサイズはφ300×L500mm。シリコンウエハや化合物半導体ウエハのレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。50枚一括処理が可能な量産用プラズマアッシャー装置はYSP650Wをご覧ください。

用途・分野
■用途・シリコンウエハや化合物半導体ウエハのレジストアッシング
・等方性エッチング
・濡れ性改善　表面改質など

■分野電子デバイス・パワーデバイス (SiC,GaN ) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP1000B

取扱企業
ヤマトマテリアル株式会社

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プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP1000B 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応プロセス	電極構造	高周波出力 (Max)	発振周波数	チャンバー寸法 (内寸)	チャンバー材質	反応ガス	パージガス	反応ガス流量制御	真空ポンプ	ガス導入口	外形寸法
	YSP1000B	要見積もり	小径ウエハのアッシング、エッチング	円筒・同軸構造、対向電極	1,000W	13.56MHz水晶発振器	Φ300×L500mm	石英	2系統 (酸素、窒素)	窒素又はドライエアー	マスフローコントローラ	ドライポンプ (約500L／min)	反応ガス2個、パージガス1個、エアー1個	幅700×奥行1,000×高さ1,500mm