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シリーズ
プラズマ装置 ウエハ枚葉処理 YSP68W/YSP68WL取扱企業
ヤマトマテリアル株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プラズマモード | 電極構造 | 高周波出力 | 発振周波数 | ウエハサイズ | プラズマチャンバー | ロボット | チャンバー材質 | 反応ガス | 反応ガス流量制御 | パージガス | 真空ポンプ | 装置外形寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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YSP68W |
要見積もり |
RIE・DP (タッチパネルより切替可能) |
平行平板 |
600W (Max) |
13.56MHz水晶発振器 |
6インチ、8インチ兼用 |
大気開放チャンバー、又はロードロック式 |
シングルアーム |
アルミ |
酸素・CF4 (2系統) ＋予備ポート |
マスフローコントローラ |
窒素又はドライエアー |
別途ご用意いたします (オプション) |
幅600×奥行1,650×高さ1,850mm |
