表面清浄度パーティクルモニタ PartSens
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この製品について

■概要表面異物や落下塵をわずか数秒で計数。インテクノスが推奨する表面清浄度の監視機材。測定プローブを置くだけで、瞬時に表面汚染傾向を把握。PartSensは、クリーン製造環境のあらゆる表面に存在する「粗大粒子」の大きさと数を瞬時に測定し、それらを反射性粒子、非反射性粒子、繊維に分類するポータブル表面清浄度パーティクルモニタです。用途は、前室・エアーシャワー・床・壁・設備・装置内部の清掃効率、ウエア・グローブの清浄度管理、製品の洗浄効果など、表面清浄度に関連する様々なアプリケーションの評価を可能とします。

■測定原理　欧州品質規格VDA19.2「組立における技術的清浄度」に唯一記載され、ISO規格の測定原理を採用した監視機材PartSensの測定原理は、VDA19.2の直接的/間接的測定や、ISO14644-9に記述される視斜光測定システム (グランシングライト照射式) に該当します。右図のように、測定プローブは外光を遮蔽し、測定エリアに対し左右からLED光を照射します。表面上の異物は、レンズを介し、反射光としてCCDカメラで認識され、二値化処理後、数秒で異物の最長径と個数がカウントされます。画像解析のような背景模様との単純な二値化でなく、立体的に浮かび上がった粒子だけを検出する独自の技術は、表面凹凸が少ない測定対象物に対して有効です。2µm以上の表面粗度がある一般対象物には、間接転写方式 (専用テープリフトパッド) を用いて測定します。

■測定方法　専用テープリフトパッドであらゆる箇所の表面清浄度を測定専用のテープリフトパッド (別売・消耗品) を測定対象物にあて、専用台にセットします。その上に測定プローブを置き、スタートボタンを押すと数秒で結果が得られます。これにより、ヒト・ウエア・装置・部材・ツールなどの平坦でない表面の清浄度を数値化することができます。清掃または洗浄などの汚染対策の前後で表面付着異物を捕集し、測定値を比較することでその効果を評価することができます。