リアルタイム粒子堆積モニタ APMON
株式会社菱光社

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この製品について

■概要「落下・堆積粒子」による付着異物を常時監視。リアルタイムで発塵を監視。製造環境と製品への直接的な堆積リスクを数値化。APMONは、ヒトやシステムの活動に起因する15µm以上の堆積粒子を最短5分間隔で計測します。汚染の原因となる「不適切な挙動」をリアルタイムで監視し、「いつ」「どのくらい」堆積させているかを数値化します。

■測定原理　検出部の大きさが特長　レーザーホログラフィック方式センサ上部に設置されたカートリッジにレーザー光を透過させ、堆積した粒子の数や大きさを測定間隔ごとに計数します。粒子径は、回折通過したレーザー光の波形を元に粒子の形状を検出し、フーリエ変換法で回折パターンを実像化します。センサで実像化されたデータは、本体で粒子数や粒子径などに変換され、ディスプレイに表示されます。センサと本体の接続は有線・無線が選択でき、センサ専用バッテリも付属しているため、遠隔監視も可能です。

測定結果の表示
■不適切な「挙動」を最短5分で検出クリーン環境の汚染リスクアセスメントに最適な新しい監視技術APMONは、粒子堆積が増加する瞬間 (パーティクルイベント) をリアルタイムで監視します。これにより、ヒト、システムや清掃行為といった発塵源の「不適切な挙動」を検出し、その発塵量と粒度分布を数値化することができます。ISO14644-17では、このパーティクルイベントと関連付けられた挙動の制御方法を検討し改善することを、5μm以上の粒子を低減させる方法として規格化しています。APMONは、空気中から落下・堆積する割合が50％以上とされる、15µm以上の粒子を検出します。