両面顕微鏡位置ずれ計測システム TOMOS-60
株式会社菱光社

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この製品について

■概要6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム

■特長・6インチXYステージを搭載。
・水晶振動子、MEMS、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に。
・表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能。
・表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正。
・±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定。 (被写体や環境条件により異なる) 
・表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能。 (オプション) 
・電動XYステージ制御システム開発中。
・装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能。

■用途・観察　電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録　落射、透過、落射+透過撮影が可能。表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法測定。
・寸法・表裏位置ずれ計測　プリント基板貫通穴、メッシュフィルター、水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、寸法計測　表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測。エッジを自動で検出し、測定個人差の無い表裏パターンの線幅／寸法計測。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
両面顕微鏡位置ずれ計測システム TOMOS-60

取扱企業
株式会社菱光社

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両面顕微鏡位置ずれ計測システム TOMOS-60 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	光学系	対物レンズ	粗微動調整	XY稼働範囲	照明	カメラ	センサー	画素数	ソフト機能
	TOMOS-60	要見積もり	正立、倒立	5倍、10倍、20倍、50倍から選択	正立、倒立 (手動)	150mm×150mm	白色LED照明 (変更可、ソフト制御)	正立、倒立計2個	1/1.8型CMOSモノクロ (カラー可)	300万画素	表裏光軸補正機能表裏同時撮影、ファイリング表裏合成表示表裏寸法手動計測表裏寸法自動計測 (オプション) 表裏位置ずれ手動計測表裏位置ずれ自動計測 (オプション)