圧電計測機器新型d33メータ
リードテクノ株式会社

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この製品について

圧電デバイスは、搭載されるセット機器の小型化、高感度化により、従来のセラミックスから、樹脂フィルム及び 薄膜基板を利用した応用デバイスへ展開しつつあります。 

当社では、従来のセラミックス材料で培った評価技術をベースに、これら多様化する材料及びデバイスに対して、お客様ニーズに合った各種圧電評価方法の提案及び各種計測機器の開発を進めております。

■概要・圧電定数 (d33、d31) の計測がダイレクトに測定可能
・従来の測定装置よりも高分解能で、バルクセラミックスから、薄膜基板や弾性変形しやすい圧電フィルム等も測定が可能

■性能・機能・測定方法：圧電体にダイレクトに荷重を印加して、発生した電荷量を計測
・測定範囲：0~10,000pc/N (測定レンジ：7 レンジ切替え) 
・分解能：0.01pC/N (最少レンジ:0~10pc のとき) 
・最大印加荷重：Max. 8N (分解能:0.01N) 
・専用ソフト (Piezopro) により、条件設定～計測結果表示～データ保存までパソコン上で操作

測定例
■PZT薄膜基板の測定・PZT薄膜Si基板：20×16mm (PZT厚み：1μm) 
・Si基板をアタッチメントにて挟み計測