低コストクリーンルーム
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■半閉止板式滞留域低減システム必要エリアの清浄度を確保しつつ、クリーンルームの低コスト化、省エネルギー化を実現します。

■概要クリーンルーム空気の一部を通風抵抗体を通して天井チャンバ内に戻すことにより、天井閉止パネル直下に形成される滞留域を効率よく低減し、少ないファンフィルタユニットで清浄空間を効率的に形成します。

■特長・クリーンルーム室内気流の滞留抑制。
・実効換気回数の低減。
・ファンフィルタユニット (FFU) 設置台数の削減。

■局所清浄化技術 (ミニエンバイロメント) 製品周りの局所空間のみを高清浄にし、クリーンルーム全体の清浄度を緩和することによって、投資の抑制やランニングコストの低減を図ることができます。

■技術構成ミニエンバイロメント (囲われた清浄空間) を活用し、クリーンルームのミニマム化によるコスト低減をご提案します。 (本方式による国内初の300Φウェーハ半導体製造クリーンルームを施工。) アイリッド (垂れ壁) や拡散型吹出口を適正に配置した局所清浄型クリーンルームをご提案します。

■リターンダクトレス・クリーンルームクリーンルーム面積を拡大し、生産エリアを拡げることによって工場の生産効率向上を図ります。

■概要最先端の半導体量産ライン向けに、リターンダクトを無くしてもクリーンルーム内の清浄度、温度分布を満足できるリターンダクトレス・クリーンルームを開発しました。リターンダクトで占有されていたエリアも生産エリアとして利用できるため、面積効率の良いクリーンルームが構築できます。

■特長・アイリッドとミニエンバイロメントの配置による気流制御
・室内の顕熱を天井側の顕熱処理コイルで除去。

■適用分野300φウェーハ対応半導体工場他

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
低コストクリーンルーム

取扱企業
株式会社日立プラントサービス

カテゴリ

クリーンルーム用品

クリーンルーム

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株式会社日立プラントサービスは、空調設備や産業プラント設備など環境関連事業の展開を主な事業としている企業です。設立は1964年で、本社のほかに北は北海道から南は熊本までの各地に支店や営業所、事業所とシンガポールに事務...

本社所在地: 東京都

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