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選べる2タイプ 膜厚基準サンプル-ファイブラボ株式会社

選べる2タイプ 膜厚基準サンプル
ファイブラボ株式会社



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この製品について

■特徴

・SIO2/SI膜厚基準サンプル ・基盤上に膜厚の違う酸化膜を5種類、等ピッチ間隔ラインを3種類成膜したシリコウェハーです。 ・90nm~600nmを配置したタイプと、200nm~900nmを配置したタイプの2種類用意いたしました。 ・サンプルの表示はあくまで狙いの膜厚です。 ・実際の膜厚はセンター値近辺となります。 ・膜厚値に関しましては測定無・センターのみ測定・マッピング測定の3種類からお選びいただけます。 ※当社エリプソメーターMARY-102にて測定

  • シリーズ

    選べる2タイプ 膜厚基準サンプル

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選べる2タイプ 膜厚基準サンプル 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 基盤 膜種 測定方法 文字線幅 文字類膜厚 タイプ モデル名
選べる2タイプ 膜厚基準サンプル-品番-STA-9000-□

STA-9000-□

要見積もり

シリコンウェハー4inch

SiO2

N:測定無       
C:5種センターのみ測定
M:5種100点マッピング測定
※型番の項目で、□内“N・C・M”をご指定ください。

22nm:60nm:125nm
206nm:892nm

50μ:200μ:400μ

0.3mm

120nm

薄膜・厚膜

膜厚基準サンプル

選べる2タイプ 膜厚基準サンプル-品番-STA-6000-□

STA-6000-□

要見積もり

シリコンウェハー4inch

SiO2

N:測定無       
C:5種センターのみ測定
M:5種100点マッピング測定
※型番の項目で、□内“N・C・M”をご指定ください。

96nm:110nm:125nm
407nm:606nm

50μ:100μ:500μ

0.3mm

120nm

薄膜・厚膜

膜厚基準サンプル

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ファイブラボ株式会社は1988年に設立した、光学機器及び装置の専門メーカーです。 光学機器や装置の開発・製造・販売をメインの事業として展開しており、光で膜の厚みなどを測定する装置であるエリプソンメーター、非接触で角度を...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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