高速応答時間2ミリ秒未満メムスサーモパイル真空センサ PVC3000-PVC3001

高速応答時間2ミリ秒未満メムスサーモパイル真空センサ PVC3000
オールデバイス株式会社

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この製品について

■概要PosifaのMEMSサーモパイルバキュームセンサのPVC3000シリーズは、1ミリトル (0.13パスカル) 未満から大気 (760トル、または101Kパスカル) までの効果的なレンジを提供することにより真空センサに躍進をもたらします。対照的に、ピラニ真空センサの上限は30トルです。ピエゾ抵抗圧力センサは10トル未満の真空を測定できません。高価な静電容量式圧力センサはレンジの下限が0.1トルに制限されています。

したがって、PVC3000は2つのセンサの仕事が出来ます。例えばピラニセンサやピエゾ抵抗圧力センサ/静電容量式圧力センサ。さらにPVC3000には45mW (標準) の低消費力、そして2ミリ秒以下の超高速応答が可能です。パルス励起を利用すると消費電力をさらに削減できます。たとえば、10Hzの励起では、電力を5mW以下まで減らすことが可能です。

PVC3000は、1つのセンサを真空 (測定) にさらし、もう1つのセンサを大気(基準)にさらす差動構成で使用する事が出来ます。このような構成により、自動内部温度補正、およびセンサのドリフトを引き起こす他の環境要因の排除が可能になり、優れた再現性と長期安定性が実現します。

PVC3000はPosifaのセカンドジェネレーション熱伝導率センサダイ (PTCD20) を使用し、ガスの熱伝導率がその真空圧に比例するという原則の下で動作します。PVC3000にはTO5金属缶のPVC3001とTO46金属缶のPVC3004の2つのファームファクターがあります。

■用途・一次真空下で維持されるクローズドシステムでのリーク検出
・真空包装機
・ポータブルデジタル真空計

■特徴・範囲:0.001~760トル (0.13~101KPa) 
・高速応答時間2ミリ秒未満
・低消費電力:10Hzパルス励起で5mW未満
・差動構成を使用した自動内部温度補正 (「アプリケーション回路」を参照) 
・溶剤に浸すことで洗浄でき、寿命が延びます。

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
高速応答時間2ミリ秒未満メムスサーモパイル真空センサ PVC3000

取扱企業
オールデバイス株式会社

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高速応答時間2ミリ秒未満メムスサーモパイル真空センサ PVC3000 品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	絶対最大定格動作温度	絶対最大定格保管温度	絶対最大定格衝撃	TYP (SLM)	範囲	ヒーター抵抗	サーモパイル耐性	励起電圧	応答時間	動作温度範囲	保管温度	耐衝撃性	過圧
		PVC3001	要見積もり	-25~85℃	-40~90℃	100gピーク (5ドロップ、3軸)	15.00	0.001~760トル	110Ohm(25℃にて)	210Kohm(25℃にて)	1~2Vdc	2mSec	-25~85℃	-40~90℃	1,000g	27.5 Bar
		PVC3004	要見積もり	-25~85℃	-40~90℃	100gピーク (5ドロップ、3軸)	15.00	0.001~760トル	110Ohm(25℃にて)	210Kohm(25℃にて)	1~2Vdc	2mSec	-25~85℃	-40~90℃	1,000g	27.5 Bar