ウルトラファインリークテストシステム MUH-0100 series-MUH-0100-1

ウルトラファインリークテストシステム MUH-0100 series
株式会社フクダ

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この製品について

■超微小漏れを測る角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。フクダでは、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発しました。MUH-0100シリーズは、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。

特許番号PAT.NO.5970618。真空チャンバ法、カプセル蓄積法。本システムは、ファインリークテスト (真空チャンバ法) 、ウルトラファインリークテスト (カプセル蓄積法) により、気密検査を行う装置です。カプセル蓄積法採用で、最小4×10⁻¹⁵Pa･m3/s (He) まで計測可能。

■測定範囲従来の方式におけるヘリウムリーク量は、バックグラウンドの影響を考慮すると、実質10-10Pa・m3/s (He) 台まででしたが、この技術では10-15Pa・m3/s (He) 台までの漏れ量の測定が可能です。※測定できる漏れは、測定する製品の種類と条件によって異なります。

■「カプセル蓄積法」とはカプセル蓄積法は、ワーク (試験品) からの微小なヘリウムリークを検出するために、大容積の「チャンバ」の中に小容積の「カプセル」を設け、ヘリウムリーク測定を行う方法です。次の①~③の流れで、微小漏れの測定を行います。

①ワーク (試験品) を入れた「カプセル」と「チャンバ」を真空にしてから「カプセル」を閉じ、質量分析計で検出可能なレベルになるまでヘリウムを蓄積します。
②「カプセル」を開き、「カプセル」内のガスを「チャンバ」内に開放します。③拡散されたヘリウムは、分子流の状態になって「絞り」を通り、質量分析計で計測されます。

■「カプセル蓄積法」の特徴・バックグラウンドを大幅に低減、超微小のヘリウムリークの検出が可能。ヘリウムリーク判定能力4×10-15Pa・m3/s (He) ~※蓄積時間2時間の場合。ポンピング条件、カプセルサイズ、放置時間等の試験条件に依存します。
・誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間やメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等です。
・ヘリウム蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウルトラファインリークテストシステム MUH-0100 series

取扱企業
株式会社フクダ

カテゴリ

試験機器

リークテスター

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ウルトラファインリークテストシステム MUH-0100 series 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	カプセルサイズ	測定方式	チャンネル数	被検査物のセット方式	最大ワークサイズ	シミュレーション	最小可検リーク量	起動時間	校正器	表示単位	使用温度・湿度範囲	電源電圧	消費電力	外形寸法	質量	空圧源	チャンバ洗浄用ガス	排気	言語
	MUH-0100-1	要見積もり	Type1010 16×10mm 角10	質量分析計によるヘリウムリークテスト、ウルトラファインリーク:カプセル蓄積法	1ch	手動	φ44×31mm (角30) 以内の密封品	付属のパソコンモニタを使用	4×10^-15Pa-m3/s (He)	3分	ファインヘリウム漏れ基準器10-10Pa・m3/s台校正リーク (校正器は、付属品です。)	Pa-m3/s (He)	23±5℃ (推奨) 50±10%RH (結露無きこと)	AC100V±10%単相50Hz/60Hz	800VA	W760×D770×H1,200mm	200kg	クリーンで変動しないドライエア0.35MPa以上0.6MPa以下で供給してください。推奨条件JISB8392-1:2012による。圧縮空気の清浄等級1,3,1	ドライ窒素、またはアルゴンガス0.1MPa以上0.5MPa以下で供給してください。	排気ポートは室外へ排気してください。測定環境のヘリウム濃度が高い場合、バックグラウンドが上昇します。	日本語