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2軸リニアスケーラー HVL250
株式会社フォトンプローブ



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この製品について

■特徴

・2軸の移動量測定を簡便安価に実現 ・10nmの高精度、移動距離1mの高レンジ

■ 応用

手動、自動ステージの移動量検出

■仕様

HV250を2軸移動測定用に組上げていますので、基本的仕様値はHV250をご覧ください。プローブは様々なタイプを用意できます。プローブにつきましては、打ち合わせの上、形状、大きさ、出射方向を決定させていただきます。また、取り付け市などについても相談させていただきます。

■機能概要

基本的機能はHV250と同一です。HV250が2台独立に作用している装置とも言えます。 (従って、3軸以上の同時刻計測もできます。打ち合わせにより、多軸の場合の表示方法などを決定させていただきます)

  • シリーズ

    2軸リニアスケーラー HVL250

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2軸リニアスケーラー HVL250 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)

HVL250

要見積もり

フィルターから探す

変位計をフィルターから探すことができます

測定範囲 mm

0 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000,000

応答周波数 Hz

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,000,000

使用温度範囲 ℃

-200 - -100 -100 - 50 50 - 100 100 - 150

定格出力 mV/V

1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 6 6 - 7 7 - 8

非直線性 %RO

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5 0.5 - 1.5

測定力 N

0 - 2 2 - 4 4 - 7 7 - 17 17 - 31 31 - 60

電源 V

10 - 90 90 - 100 100 - 400

方式

差動変圧器 ケガキ方式

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