バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置)
株式会社フォトンプローブ

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この製品について

■特徴・非接触かつ高精度に計測
・全自動で測定し、繰り返し測定も簡単
・薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応

■PC上での解析PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得します。取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求めます。このデータ収集や解析方法は、時々、入れ替えています

■用途 ・ヤング率、粘性、剛性率等の材料特性評価
・基盤材、有機材等の新材料開発

■応用・展開本装置はヘテロダイン変位計のヤング率測定装置への応用例として開発しましたが、特定の物理定数を得るための特定の計測装置、特に非接触計測装置、に展開できます。ヘテロダイン変位計の持つ特性をフルに活かした装置も設計できます。ご相談下さい。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置)

取扱企業
株式会社フォトンプローブ

カテゴリ

メーター・計測機器

変位計

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バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置) 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	変位量分解能	使用変位計	圧力測定分解能	最大付加圧力	最大試料径	測定領域試料最大径	測定モード
	HVB40	要見積もり	1nm	HV400	0.1Torr	300Torr (500Torr程度まで可)	300mm	50mm	全自動モード (PCにより制御します) またはマニュアルモード