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バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置)
株式会社フォトンプローブ

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この製品について

■特徴

・非接触かつ高精度に計測 ・全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ・薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応

■PC上での解析

PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得します。取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求めます。このデータ収集や解析方法は、時々、入れ替えています

■用途

・ヤング率、粘性、剛性率等の材料特性評価 ・基盤材、有機材等の新材料開発

■応用・展開

本装置はヘテロダイン変位計のヤング率測定装置への応用例として開発しましたが、特定の物理定数を得るための特定の計測装置、特に非接触計測装置、に展開できます。ヘテロダイン変位計の持つ特性をフルに活かした装置も設計できます。ご相談下さい。

  • シリーズ

    バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置)

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バルジ測定器 (薄膜ヤング率測定装置) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 変位量分解能 使用変位計 圧力測定分解能 最大付加圧力 最大試料径 測定領域試料最大径 測定モード

HVB40

要見積もり

1nm

HV400

0.1Torr

300Torr (500Torr程度まで可)

300mm

50mm

全自動モード (PCにより制御します) またはマニュアルモード

フィルターから探す

変位計をフィルターから探すことができます

測定範囲 mm

0 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000,000

応答周波数 Hz

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,000,000

使用温度範囲 ℃

-200 - -100 -100 - 50 50 - 100 100 - 150

定格出力 mV/V

1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 6 6 - 7 7 - 8

非直線性 ％RO

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5 0.5 - 1.5

測定力 N

0 - 2 2 - 4 4 - 7 7 - 17 17 - 31 31 - 60

電源 V

10 - 90 90 - 100 100 - 400

方式

差動変圧器 ケガキ方式

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  • 本社所在地: 埼玉

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