回転マニピュレータ FM70B
バキュームプロダクツ株式会社

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この製品について

■概要同時2軸のマニピュレータで基板回転と首振り等に使用するのに適しています。

■特長オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	接続フランジ	偏心移動	位置決め精度
	FM70B	要見積もり	ICF70	0.03mm以下	0.1°

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