トランスファロッド VMRLシリーズ
バキュームプロダクツ株式会社

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この製品について

■概要高精度のパイプを使用することで、試料を真空チャンバ間で搬送する用途の他に、上下機構、シャッタにも使用しています。 XYステージと組み合わせることで、試料搬送を容易にしています。自己潤滑のガイドを使用しているので、ゴミ、異物混入に強い構造です。

■特長オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。 オリジナル肉厚パイプにより、ロングストローク、自動化にスムーズに対応します。