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産業用ロボットの製品365点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | クリーン度 | アーム長 第1アーム | アーム長 第2アーム | 動作範囲 第1軸 | 動作範囲 第2軸 | 動作範囲 第3軸 (Z軸) | 動作範囲 第4軸 (Z軸回転) | 最大速度 第1軸 | 最大速度 第2軸 | 最大速度 第3軸 (Z軸) | 最大速度 第4軸 (Z軸回転) | 負荷 最大可搬質量 | 位置繰返し精度 X，Y (平面) | 位置繰返し精度 Z軸 (上下) | 位置繰返し精度 4軸 (Z軸回転) | 駆動方式 | ロボット本体 質量 | ロボット本体 塗装色 | ハンド用入出力信号 | 位置検出方式 | 付属ケーブル | コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ウエハ搬送SR-404HC |
要見積もり |
クラス100 (パーティクルサイズ0.3 μm) <備考：掃気100 L/min> |
200 mm |
200 mm |
±230 deg |
±160 deg |
100 mm |
±230 deg |
274 deg/s |
240 deg/s |
200 mm/s |
240 deg/s |
20 kg (ハンド含む) |
±0.05 mm |
±0.05 mm |
±0.1 deg |
全軸ACサーボモータ |
200 kg |
ミスティホワイト |
入力5点、出力2点 |
アブソリュート方式 |
標準5 m (最大30 m) |
TS3000 |
