フェーズシフター
振電工業株式会社

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この製品について

■特長  ・完全自動運転 
・デジタル位相差表示 
・リモート信号完備 
・13.56MHz 

■概説 本自動フェイズシフタは、オートモードで複数電源を同期運転するシステムの基準となるプラズマ用電極と、その他の電極のRF電源の位相差を自動的に一定の値にします。電極の電圧の一部を取り出す RF プローブは、通常整合器に取り付け、その出力は本機にフィードバックされます。

本機は、前パネルのポテンショメータまたはリモート信号により位相差を0°～±180°に設定できます。本機は、前パネルのデジタルメータで位相差を表示し、アナログ信号で出力します。

また、マニュアルモードでも使用でき、その場合は、RF プローブからのフィードバック信号は必要ありません。PSC-2Ⅲは、二電源システムに、PSC-nは、n電源システムに使用します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
フェーズシフター

取扱企業
振電工業株式会社

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フェーズシフター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	周波数	RF入力	RF出力	可変位相レンジ	Mode切替	リモート信号 (位相差設定入力)	リモート信号 (位相差モニタ出力)	外径寸法	必要電源
	PSC-2Ⅲ	要見積もり	13.56MHz±0.01％	入力レベル＝0.3~3Vrms/50Ω (フィードバック信号) (0.85~28.3Vp-p/50Ω)	TTLレベル又はサイン波出力 3±0.5Vrms (7.07~9.9Vp-/50Ω)	0°±180°	Auto/Manual切替スイッチ (フロントパネル上)	0~2.5~5V/+180°~0°~-180°	-1.8~+1.8V/-180~+180°	215W×330D×99H	AC85~132V, 1A