RHEEDシステム
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この製品について

■概要RHEEDは反射高速電子線回折といい、高速電子線を試料に浅い角度で照射し、反射した電子で回折像を得ます。MBEでは、表面の原子の並びに関する情報が成膜中にその場で観察できます。アリオスでは、20年以上MBE装置及び部品類の開発、製造をしてきたノウハウをベースに、RHEEDシステムの電子銃、制御電源、スクリーンまで全て自社で開発、製造しています。RHEED用蛍光スクリーンは電子ビームによるX線被爆を防ぐため鉛ガラスを使用し、独自技術によりピンホールやムラのない蛍光膜を作製しています。 蛍光膜のはがれ、欠損などに対する再塗布などのメンテナンスも低価格、短納期で行えます。

■特徴・小型化設計により全長363mm (コネクタ取り付け後) で、軽量かつコンパクトです。
・フィラメント交換後の電子ビーム軸合わせは、ベローズ機構により簡単確実な調整が可能です。
・差動排気ポートを標準で装備しており、ガス導入時の運転も可能です。 (別途部品交換が必要) 
・取り付けフランジ (φ70CF) は、ネジ穴が倍数あり、相手フランジの取り付け角度を選びません。
・電源本体は、ラックマウント (H150JISサイズ) 及び床設置が可能です。
・操作する全てのツマミ、メーター類をリモコンBOXに集約しており、スクリーンを観ながら操作が行えます。
・フィラメントに通電しないと加速電圧が印加できない設計となっており、ケーブルが外れた状態では高電圧がかからず、安全です。
・入力電圧100～240V対応のフリー電源です。

■標準構成・RHEED電子銃 (RHEED303-EG) 1台
・RHEED制御電源 (RHEED303-PS) 1台
・ケーブル類 (RHEED303-PS 標準添付品参考) 1式

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
RHEEDシステム

取扱企業
アリオス株式会社

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RHEEDシステム品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	加速電圧	重量	使用真空度	電子ビームスポット径	電子ビーム偏向角度	接続フランジ	リーク量	ベーキング温度	フィラメント
	303-EG	要見積もり	最大 30kV	6.3 kg	10^-4 Pa~超高真空領域	φ80μm以下	±5° XY	φ70CF (ネジ穴倍数タイプ)	6.7×10^-11 Pa・m^3⁄sec以下	最高 200℃ (ケーブル、コネクタ除く)	タングステンヘアピン