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ビームフラックスモニター BFM-2F01-BFM-2F01
ビームフラックスモニター BFM-2F01-アリオス株式会社

ビームフラックスモニター BFM-2F01
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

ビームフラックスモニター (BFM-2F01) は、B-Aタイプの小型ゲージをセンサーとし、分子線のビーム強度を測定するものです。アリオスのビームフラックスモニターは、最適な材料、構造、表面処理によりガス放出が極めて少なく、精度の良い測定が可能。また、標準品以外にも様々な用途に合わせたご要望にも対応致します。

■特徴

・溶接ベローズ駆動による直動機構 (標準ストローク：260mm) を内蔵しています。 ・ストローク長は、仕様に合わせてカスタマイズ可能です。ご相談下さい。 ・直動機構の駆動は手動 (ハンドル付き) ／自動 (モーター駆動) どちらでも選択可能です。 ・200℃までのベーキングが可能です。MBE装置などの各種装置に搭載が可能です。 ・専用に開発したB-Aタイプ小型ゲージをセンサーとして用い、センサー部の省スペース化に成功しています。 ・長寿命設計でコストパフォーマンス効果。ゲージセンサー部にシールドカバーを装備し、外部からの金属汚染を避けています。 ・フィラメントを2本装備しています。 ・専用のフラックスモニターはアナログ出力 (0-10V) により、レコーダーへの記録が可能です。 ・ゲージケーブルの端末処理はカスタマイズにより、既存の真空計をそのままモニターとして使用可能です。

■オプション

・-01 ： モーター駆動 ・-02 ： モーターコントローラ ・-03 ： ストローク長変更 ・-04 ： フランジ変更

  • シリーズ

    ビームフラックスモニター BFM-2F01

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ビームフラックスモニター BFM-2F01 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 真空シール センサー 駆動方法 直動ストローク 取り付けフランジ ベーキング温度
ビームフラックスモニター BFM-2F01-品番-BFM-2F01

BFM-2F01

要見積もり

溶接ベローズ

B-Aタイプ小型ゲージ

台形ネジによる直進移動 (手動)

260mm (標準)

φ114CF

MAX200℃ (駆動部含まず)

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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