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チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ-2TRW70-×××
チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ-アリオス株式会社

チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

このトランスファーロッドは、強力な磁気回路により大気側から回転、直線運動を真空内へ伝える導入機です。2軸構造のマグネットカップリングによりチャッキング操作が行えます。超高真空装置の試料交換等に最適です。

■特徴

・試料交換に最適なチャッキング機構のついた、トランスファーロッド ・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。 ・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。 ・取り付けはφ70CF仕様です。 ・最適な磁気回路設計により高トルクです。

  • シリーズ

    チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ

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チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク フランジ ベーキング温度 リーク量 取付方向 直進駆動伝達力 回転駆動伝達トルク たわみ量 軸受け部 マグネット材質
チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ-品番-2TRW70-×××

2TRW70-×××

要見積もり

300~1,000mm

φ70CF

最高 200℃

6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下

水平 (垂直仕様はご相談下さい。)

90N (MAX)

3N・m

2mm
※ ストローク 500mm、先端荷重 500g、取付方向水平の時

ステンレスベアリング

希土類マグネット

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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