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トランスファーロッド TRシリーズ-TR70-SLB-300
トランスファーロッド TRシリーズ-アリオス株式会社

トランスファーロッド TRシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

大気側から真空側へとフランジの軸方向に直線的な動きを伝える部品です。超小型回転導入機 RFTシリーズと同様に磁気結合を使い、Oリングなどを使用していないので、超高真空での使用が可能です。このTRシリーズは強力な磁気回路により回転、直線運動を高トルクで真空内に導入できます。ロードロック室及び試料ハンドリング機構と組み合わせて、試料交換などに使います。

■特徴

・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。 ・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。 ・取り付けはφ70CF仕様です。 ・強力磁気回路のマグネットカップリングにより高トルクです。

  • シリーズ

    トランスファーロッド TRシリーズ

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トランスファーロッド TRシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) タイプ ストローク 直進駆動伝達力 (N) 回転駆動伝達トルク (N・m) フランジ 取付方向 ベーキング温度 リーク量 たわみ量 軸受け部 マグネット材質
トランスファーロッド TRシリーズ-品番-TR70-SLB-300

TR70-SLB-300

要見積もり

単軸直進駆動

300~1,000mm

80N

N/A

φ70CF

水平 (垂直仕様はご相談下さい)

最高 200℃

6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下

2mm
※ ストローク 500mm、曲げ荷重 50N、取付方向水平の時

ステンレスベアリング

希土類マグネット

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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