Zステージ LMTシリーズ
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この製品について

■概要2つのフランジ間の距離を可変することができる中空Zステージです。各種コンポーネントを取り付け、大気側から直線移動調整が可能です。装置の用途により、所要ストローク量が異なる場合や電動駆動を推奨させて頂く場合があります。詳細はご相談ください。

■特徴・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。
・200℃までの高温ベーキング対応。
・φ34CF～φ114CFまで対応しています。
・XY機構等との組み合わせにより、多軸調整が可能です。

■オプション-SD ミツトヨTM 製デジタルスケール

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
Zステージ LMTシリーズ

取扱企業
アリオス株式会社

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Zステージ LMTシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フランジ	ストローク量	最小内径	ベーキング温度	リーク量	材質
	LMT 3410	要見積もり	φ34CF	12.5mm	φ16mm	最高 200℃ (ハンドル、デジタルスケール部を除く)	6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下	ベローズﾞ部－SUS 316、フランジ－SUS 304、その他－アルミ合金