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Zステージ LMTシリーズ-LMT 3410
Zステージ LMTシリーズ-アリオス株式会社

Zステージ LMTシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

2つのフランジ間の距離を可変することができる中空Zステージです。各種コンポーネントを取り付け、大気側から直線移動調整が可能です。装置の用途により、所要ストローク量が異なる場合や電動駆動を推奨させて頂く場合があります。詳細はご相談ください。

■特徴

・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。 ・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。 ・200℃までの高温ベーキング対応。 ・φ34CF~φ114CFまで対応しています。 ・XY機構等との組み合わせにより、多軸調整が可能です。

■オプション

-SD ミツトヨTM 製デジタルスケール

  • シリーズ

    Zステージ LMTシリーズ

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Zステージ LMTシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) フランジ ストローク量 最小内径 ベーキング温度 リーク量 材質
Zステージ LMTシリーズ-品番-LMT 3410

LMT 3410

要見積もり

φ34CF

12.5mm

φ16mm

最高 200℃ (ハンドル、デジタルスケール部を除く)

6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下

ベローズ゙部-SUS 316、フランジ-SUS 304、その他-アルミ合金

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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