簡易型XY機構 SXYシリーズ
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この製品について

■概要2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び±3°の角度調整が可能な部品です。 本機は簡易型のXY機構にチルト調整機構を組み合わせています。調整は大気側で行えます。トランスファーロッドの位置調整用に最適で、全金属封止構造のため、超高真空装置にもお使いいただけます。本SXYシリーズは角度調整が可能ですが、マイクロメーターを搭載していない為、精密な位置調整にはXYZステージをご利用ください。

■特徴・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
・φ70～φ203CFまで対応しています。
・4本のロッドを調整することにより、チルト調整が可能です。
・トランスファーロッド、超小型回転導入機、直線導入機等と組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が経済的に行えます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
簡易型XY機構 SXYシリーズ

取扱企業
アリオス株式会社

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簡易型XY機構 SXYシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フランジ1	フランジ2	ベローズ寸法 (φ内径／φ外径) (mm)	質量 (g)	ベーキング温度	リーク量	移動量	チルト	材質
	SXY70070	要見積もり	φ70 ※回転フランジへの変更が可能です。	φ70CF	39／51	2,100	最高 200℃	6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下	X-Y-Z　各±5mm	±3°	ベローズ部－SUS 316、その他－SUS 304