ロードロックハッチ EDシリーズ
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この製品について

■概要EDシリーズは、真空システムにサンプルなどを導入するために使用するロードロックドアです。真空容器を大気開放した状態でのものの出し入れ、真空容器内へサンプルを取り付けるなど、装置の調整で手や治具を入れる場合に使う開放式の蓋です。本器は工具を必要とせず、手動式のノブで固定する方式になっています。

本器がない場合、フランジを工具で開けることになりますので、手間がかかる、ガスケットの交換が必要になるなど色々と厄介です。 但し、Oリングを使用しているため、金属ガスケットを使うフランジと比較し、到達真空度が低くなることがあります。分子線エピキタシー装置 (MBE) の成膜チャンバーなどにはお勧めしません。この場合の試料の脱着には、ロードロック室などのご検討をお勧めします。

■特徴・小型軽量化した設計により、取り付け場所を選びません。
・フッ素ゴムシールにより高真空対応です。
・150℃までのベーキングが可能です。
・φ114～φ305CFに直接取り付けられます。
・各サイズ窓付き、窓なしタイプがあり、窓材は石英ガラスなどがオプションで選択できます。
・JISフランジや特殊フランジ形状の製作も可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ロードロックハッチ EDシリーズ

取扱企業
アリオス株式会社

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ロードロックハッチ EDシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	フランジ	有効視径 (mm)	開口径 (mm)	質量 (g)	シール材質	窓材質	許容加熱温度	リーク量
	ED 114V	要見積もり	φ114CF	φ30	φ64	1060	フッ素ゴム (ハッチ、窓)	テンパックスTM (標準品) 、石英 (オプション)	最大 150℃	1.3×10^-8 Pa・m^3/sec以下