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ビューポートシャッター SFシリーズ-SF70
ビューポートシャッター SFシリーズ-アリオス株式会社

ビューポートシャッター SFシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス、有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止します。真空容器は通常ステンレスで製作しますので、中を見ることができません。中を見るためには、ビューポートという覗き窓を使います。ところが、成膜等のプロセスを行っていると、膜がビューポートに付着し、真空容器内を覗くことができなくなってしまいます。 付着した膜を取り除くためには、大気開放後、膜をこそげ落とし、場合によっては薬品を使います。 さらに強固な膜で剥離が不可能な場合、ビューポートを取り替えねばならないこともあります。そのため、本機のようなビューポートシャッターを取り付け、観察しない時はシャッターを閉じてビューポートに成膜されるのを防ぎます。

■特徴

・コンフラットフランジ仕様により、MBE装置など、各種超高真空装置に使用可能です。 ・回転導入機も200℃ベーキング対応のRFTシリーズを使用しており、高温ベーキングが可能です。 ・φ70CF～φ203CFまで対応しています。 ・ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果があります。 ・オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能です。 ・簡単な組み替えで開閉方向を変更できます。 ・特殊サイズフランジの製作も可能です。ご相談下さい。

  • シリーズ

    ビューポートシャッター SFシリーズ

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ビューポートシャッター SFシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 取付フランジ 質量 (g) リーク量 ベーキング温度 主な材質 使用回転導入機
ビューポートシャッター SFシリーズ-品番-SF70

SF70

要見積もり

φ70CF

650

6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下

200℃

SUS 304

RFT34B-VP (マグネットカップリング)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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