ビューポートシャッター SFシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス、有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止します。真空容器は通常ステンレスで製作しますので、中を見ることができません。中を見るためには、ビューポートという覗き窓を使います。ところが、成膜等のプロセスを行っていると、膜がビューポートに付着し、真空容器内を覗くことができなくなってしまいます。 付着した膜を取り除くためには、大気開放後、膜をこそげ落とし、場合によっては薬品を使います。 さらに強固な膜で剥離が不可能な場合、ビューポートを取り替えねばならないこともあります。そのため、本機のようなビューポートシャッターを取り付け、観察しない時はシャッターを閉じてビューポートに成膜されるのを防ぎます。

■特徴・コンフラットフランジ仕様により、MBE装置など、各種超高真空装置に使用可能です。
・回転導入機も200℃ベーキング対応のRFTシリーズを使用しており、高温ベーキングが可能です。
・φ70CF～φ203CFまで対応しています。
・ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果があります。
・オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能です。
・簡単な組み替えで開閉方向を変更できます。
・特殊サイズフランジの製作も可能です。ご相談下さい。