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排気セット MVPS-MVPS
排気セット MVPS-アリオス株式会社

排気セット MVPS
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

本ユニットは、ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプを搭載した移動式排気セットです。本セット1台で、真空容器を大気から高真空にすることができます。 補助ポンプとしてスクロールポンプを使用していますので、標準でオイルフリー仕様となっており、真空容器内が油汚染しないクリーンな排気が行えます。

■特徴

・シンプルな構成による高いメンテナンス性。 ・ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプは、各メーカーを自由に選択頂けます。 ・排気コントローラーによる簡単起動。 (シーケンサーによるプログラム動作) ・サーモカップル真空計による背圧確認。 ・ブレーカーの標準装備など、安全設計です。 ・インターロックバルブ (ILV-01) との併用により、電気だけで動かすことが可能です。

■オプション

・電離真空計 ・磁気浮上型ターボ分子ポンプ ・ロータリーポンプ ・インターロックバルブ (ILV-01) ・各種インターロック

  • シリーズ

    排気セット MVPS

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排気セット MVPS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ターボ分子ポンプ 排気速度 ターボ分子ポンプ 到達圧力 ターボ分子ポンプ 制御電源 スクロールポンプ 排気速度 スクロールポンプ 到達圧力 スクロールポンプ 電動機出力 制御方式 制御方法 安全対策 外部出力 電源 圧縮空気 寸法 重量
排気セット MVPS-品番-MVPS

MVPS

要見積もり

220 L/sec (N2 、保護金網付き)

1×10^-5 Pａ以下 (ポンプ単体での圧力)

デジタルコントロールによる監視・保護機能搭載

250 L/min

1.6×10^-2 Pa以下 (ポンプ単体での圧力)

0.4 kW

シーケンサーによるプログラム動作

排気ポンプ、真空バルブの状態監視を行い、操作の可否を実行

サーキットプロテクタによる過電流の防止、
サーマルリレーによるモーター過負荷運転の防止、
状態監視によるターボ分子ポンプ、スクロールポンプの破損防止

リレー接点によるベーキング許可信号

単相 200V/15A (最大)

圧力 0.4~0.6 MPa (接続径 ： Rc 1/4 (使用時) )

本体 (530mm×650mm H1,200mm)

約60kg

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都

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