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2kW E型電子銃-2kW E型電子銃
2kW E型電子銃-アリオス株式会社

2kW E型電子銃
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

アリオスのE型電子銃は各種高融点金属などのほとんどの金属や酸化物用の蒸着源です。電源と合わせ小型コンパクトな構成となっています。電源はフィラメント電源、高圧電源ともにJIS19インチラックに搭載可能で、省スペース化を実現しています。

■特徴

・アリオス独自の制御電源により、安定な蒸着が可能です。 ・CF114マウントでサイドエントリー、ボトムエントリーどちらも対応可能です。 ・真空内長は装置に合わせて変更ができます。 ・コンパクトな電源構成で、JIS19インチラックに搭載可能です。 ・高電圧感電防止のためのインターロック (フィラメント通電時のみ高圧が印加可能) を装備しています。 ・専用のリモコンBOXにより、電源操作を簡単に行うことができます。

■オプション

・変換フランジ ・真空内長変更 ・取付向き変更 ・各材質ハースライナー ・スイープコイル ・スイープ電源 ※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。

  • シリーズ

    2kW E型電子銃

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2kW E型電子銃 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ビーム加速電圧 エミッション電流 フィラメント電力 ルツボ ビーム偏向角 冷却水量 ベーキング温度 リーク量 真空内長 取り付けフランジ
2kW E型電子銃-品番-2kW E型電子銃

2kW E型電子銃

要見積もり

5kV

400mA

10V / 35A

サイズ ： φ21×φ15×深さ6 (mm)
容量 ： 1.5ml
個数 ： 1個

220°

2L/min

200℃

1.3×10^-11Pa・m^3/sec以下

200mm (標準)

CF114

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都

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