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EB蒸着源 SSEBシリーズ-SSEB-500N
EB蒸着源 SSEBシリーズ-アリオス株式会社

EB蒸着源 SSEBシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■EB蒸着源 SSEBシリーズ

SSEBシリーズはニッケル、クロム、シリコン、金などを蒸着するための実験用蒸着源です。K-セルでは対応が難しい材料の蒸着に最適です。少量の蒸着を試したいなど、簡単に導入頂けます。超高真空に対応した設計となっており、MBE装置や各種超高真空装置にも搭載が可能です。

■特徴

・アリオス独自の制御電源により安定した蒸着が可能です。 ・シンプルな構成により、容易にメンテナンス、試料交換を行えます。 ・試料を棒タイプ対応にすることにより、基板フェイスアップ型装置への本体取付も可能です。 ・真空内挿入長は装置に合わせて変更ができます。 ・試料がアースとなっており、蒸着時にイオンが発生せず、ソフトな蒸着が可能です。 (SSEB-500N) ・試料への高圧印加型で、フラックスモニター (イオン電流検出式) を内蔵しております。 (SSEB-500FM) ・高電圧感電防止のためのインターロック (フィラメント通電時のみ高圧が印加可能) を装備しています。 ・冷却水の必要がなく、設置場所を選びません。 (試料材による) ・制御電源は100V／200Vの選択が可能です。 (工場出荷時設定)

■セット構成

・SSEB-500N EB蒸着源本体、EB蒸着源制御電源 (SSEB-PS01) 、ケーブル 1式 ・SSEB-500FM EB蒸着源本体、EB蒸着源制御電源 (SSEB-PS02) 、ケーブル 1式

■オプション

・自動シャッター機構 (圧空 又は モーター駆動) ・真空内挿入長変更

  • シリーズ

    EB蒸着源 SSEBシリーズ

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EB蒸着源 SSEBシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電源型式 接続フランジ 真空内挿入長 試料サイズ フラックスモニター 試料微動調整 シャッター機構 ベーキング温度 リーク量
EB蒸着源 SSEBシリーズ-品番-SSEB-500N

SSEB-500N

要見積もり

SSEB-PS01

φ114CF

340mm (標準)

φ3×20mm (ルツボ型は0.03cc)

無し

挿入ストローク25mm

手動シャッター標準

最高200℃ (直線導入機部を除く)

6.7×10^-11Pa・m^3⁄sec以下

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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返答時間

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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