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分子線セル ACCシリーズ-分子線セル ACCシリーズ
分子線セル ACCシリーズ-アリオス株式会社

分子線セル ACCシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

分子線セル (クヌーセンセル) とは、原子層 1層ずつ積層成長可能な超高真空対応の蒸着源のことです。 当社は、分子線セルの製造に30年以上の実績を有し、豊富な経験と知識があります。 標準品以外にも、特殊仕様セルや弊社のMBE装置をはじめとした、各社MBE装置向けの代替などの特殊設計も可能です。 設計製作～メンテナンスまでを行うことのできるアリオスでは、お客様の研究、開発を全面サポート致します。ぜひオーダーメイド、メンテナンス、改造、アリオスのソリューションもご覧下さい。

■特徴 分子線セル本体

・コンタミネーションの少ない成膜が可能。最適な材料、構造、表面処理の追求によりガス放出が極めて少ない成膜ができます。 ・クラッキングセル、ガスソースセル、イオン化セルなど多数実績がございます。特殊仕様もご相談下さい。

■特徴 専用加熱電源

・温度調整器とスイッチング電源を組み合わせ、基板加熱機構や分子線セルの加熱用に専用設計されたオリジナルの電源です。 ・最適設計により、小型化、高精度、大出力かつ低価格化を実現しています。 ・高効率スイッチング電源により省エネルギーです。 ・温度調整器はプログラム式、PID制御方式など、仕様に応じて選択が可能です。 ・ラックマウント (H200 JISサイズ) 及び、床置が可能です。 ・入力電圧100V 200Vに対応し、設置場所の電力事情に左右されません。

■製造工程と高温ガス処理

設計から製造まで、分子セルに精通したスタッフが担当し、材料から加工・処理まで適切な管理のもと、高品質な製品のご提供に努力しています。 特に分子線セルで重要な高温時のガス放出を低減させるため、部品段階と組立完了後に2回の高温脱ガス処理を厳密に行い、専用容器に真空保管した状態で出荷します。これにより立ち上げ時間が大幅に短縮されます。 出荷検査は、リークテスト、最高加熱温度測定、温度安定度測定を行い、製品毎にデータを添付しています。測定温度や安定度測定時間など検査内容はカスタマイズ可能です。使用する高温脱ガス処理用の装置は、専用に開発したオリジナルの加熱脱ガス処理装置です。生産性の向上のため加熱炉を3式装備しています。加熱炉は高真空領域で1,000℃以上の加熱が可能です。

  • シリーズ

    分子線セル ACCシリーズ

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アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都

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