全てのカテゴリ

閲覧履歴

  1. Metoree
  2. RFラジカルビーム源 IRFS (アリオス)
RFラジカルビーム源 IRFS-IRFS-301
RFラジカルビーム源 IRFS-アリオス株式会社

RFラジカルビーム源 IRFS
アリオス株式会社

アリオス株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

1.4時間

返信のとても早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

IRFS-301は最大300Wの電源を搭載しておりますが、IRFS-504と比較するとスリムかつ低出力のラジカルビーム源です。そのためIRFS-504よりもお求めやすい価格設定となっております。基本的な構成はIRFS-504と同じで、放電部、引き出し部は高純度PBN (窒素用) で製作しており、活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子、ラジカルビームを得ることができます。

■特徴

・放電が目視確認できるビューポートを標準装備しております。 ・発光モニターや分光器を使用して、放電状態、励起状態を確認できます。 ・完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置など、各種超高真空装置に使用可能です。 ・分子線セルポート取付を前提に設計されているため、往来型のMBE装置に増設できます。

■標準構成

・IRFS-301 RFラジカル源本体 (自動整合器付き) 1台 ・RP-301 RF電源 1台 ・ケーブル類 (電源仕様標準添付品参考) 1式

■高品質窒化膜生成用AM変調システム

MBE装置において、分子線セルシャッタータイミングとラジカル源のRF電力を制御し、励起プラズマモードを適切に選択することにより、高品質な窒化化合物エピタキシャル成長膜形成が可能になります。このシステムは設定に従いRF電源の出力を HIGH/LOW に繰り返し制御します。繰り返し時間、タイミングの設定も可能です。また、整合器を制御し、ミスマッチングを防止します。

  • シリーズ

    RFラジカルビーム源 IRFS

この製品を共有する


30人以上が見ています

返答率: 100.0%

返答時間: 1.4時間

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

RFラジカルビーム源 IRFS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 放電室 最大出射口径 ベーキング ガス導入口 接続フランジ 整合器 冷却方法 質量
RFラジカルビーム源 IRFS-品番-IRFS-301

IRFS-301

要見積もり

PBN製 (又は 石英製－酸素用)

φ15mm

最大 200℃ (整合器ケーブル除く)

1⁄4 VCRTM オス

φ114CF

自動整合器

ラジカル源部 ： 水冷 (0.5 L⁄min以上)
1⁄4 SwagelokTM 又は Rc 1⁄8 接続
整合器部 ： 強制空冷

9.5 kg

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

返答率

100.0%

返答時間

1.4時間

会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2025 Metoree