小型RFプラズマ源 SRPS-101
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この製品について

■概要この小型プラズマ源は、試料をクリーニングする目的で開発した「誘導結合型小型プラズマ源」です。独自の手動マッチング回路により、安定したプラズマ発生が可能となり、電子顕微鏡などに搭載することで試料の清浄化や高精度な分析、また成膜アシストなどにもご使用頂けます。プラズマ室は石英製になっており、無電極放電により金属汚染の少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、クリーンな原子、ラジカルビーム等を得ることが可能です。

■特徴・専用設計により小型化を実現しています。
・専用のマッチング機構により、操作が簡単であり、長時間安定した動作が可能です。
・動作圧力は0.4Pa (3mTorr) ～400Pa (3Torr) です。Air、Ar (N2、O2) 
・空冷仕様になっており冷却水は不要なため、既設装置等へ気軽に取り付けられます。
・光ファイバーにより高精度の プラズマ発光分光 などが可能です。
・Heリーク量 1.0×10^-11[Pa･m^3･s^-1]以下 (Oリングや石英からの透過は除く) 

■標準構成・SRPS-101 小型RFプラズマ源本体 (手動整合器付き) 1台
・RP101 RF電源 1台
・ケーブル類 1式

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
小型RFプラズマ源 SRPS-101

取扱企業
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小型RFプラズマ源 SRPS-101 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	RF出力	整合器	ベーキング温度	プラズマ励起方法	放電室材質	最大出射口径	ガス導入系	冷却方法	接続フランジ	質量
	SRPS-101	要見積もり	0~100W　13.56MHz ± 1kHz	手動整合器	最高 150℃ (ケーブル、整合器部分を除く)	コイル誘導結合 (ICP)	透明石英製	φ20mm	1/4 VCRTM オスまたは 1/4 SwagelokTM	強制空冷	NW40 または CF70	約3kg