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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201-SMPS-201
超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201-アリオス株式会社

超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

本機は超小型のマイクロ波励起プラズマ源です。ガスライン、あるいは排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発しました。酸化処理用、窒化処置用、エッチング用などのラジカル源として、プラズマ装置のガスライン上流に取り付けてプリプロセスを行うなど、手軽にご使用頂けます。

■特徴

・プラズマ室は高純度アルミナ製で、放電を目視確認できます。 ・無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現しました。 ・完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全です。 ・完全空冷式で冷却水は不要です。 ・各種活性ガスの使用が可能です。 ・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。 ・イグナイター搭載により、放電がしやすくなっています。 ・プラズマ源本体の重量わずか1.9kgの軽量設計です。

■用途例

・チャンバークリーニング、コンタミネーション除去 ・ガスラインの途中に取り付けてのプロセス速度向上 ・メインのプラズマを活性化 ・ガス分解促進 ・廃ガスを分解して除害装置の負担軽減

■標準構成

・SMPS-201 プラズマ源本体 1台 ・MP-201B 200W マイクロ波電源 1台 ・TSTB-201A 同軸型スリースタブチューナー 1台 ・ケーブル類 1式

■オプション

・ガス導入系：3/8 VCRTM ・接続フランジ：NW40

  • シリーズ

    超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 放電室 マイクロ波入力 放電室内径 最大出射口径 ベーキング ガス導入口 接続フランジ 冷却方法 点火装置 質量
超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201-品番-SMPS-201

SMPS-201

要見積もり

高純度アルミナ

MAX 200W

φ20mm

φ15mm

最大 150℃ (フランジ部分のみ)

1/4 VCRTM

φ70CF

強制空冷方式 (冷却ファン)

高電圧パルス印可タイプ (自動)

1.9kg

この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

返答率

100.0%

返答時間

1.8時間

会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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