小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q
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この製品について

■概要EMIS-111Q は石英放電管タイプの小型マイクロ波励起イオン源です。マイクロ波イオン源 (EMIS-211C) と比べコンパクトとなり、よりイオン源として特化した設計で、より多くのイオン電流を得ることができます。

■特徴・プラズマ室は石英製で放電を目視観測できます。
・3枚電極構造により、低出力のマイクロ波で大電流のイオンビームを得ることができます。
・ニュートラライザー (中和器:オプション) により、絶縁物に対しても使用が可能です。
・プラズマ室のプラズマが接触する部分は、全て絶縁物 (アルミナ＋石英) で構成されており、不純物混入を最小限に抑えることができます。
・完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全です。
・完全空冷式で冷却水は不要です。
・各種活性ガスの使用が可能です。
・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。

■用途例・イオンビームスパッタ
・イオンドーピング
・エッチング
・成膜アシスト

■標準構成・プラズマ源本体 (EMIS-111Q) 
・200Wマイクロ波電源 (MP-201B) 
・2kVイオン加速電源、アクセルグリッド電源
・ケーブル類 (MP-201B標準添付品参考) 1式

■オプション・フィラメント式中和器
※オプションで中和器もご用意しております。これにより絶縁物基板への対応が可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q

取扱企業
アリオス株式会社

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小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	放電室	マイクロ波入力	放電室内径	グリッド穴口径	ベーキング	真空封止	ガス導入口	接続フランジ	冷却方法	質量
	EMIS-111Q	要見積もり	石英	MAX 150W	φ26mm	φ2.8mm×19	最大 150℃ (フランジ部分のみ)	Oリングシール (放電管部)	1/4 VCRTM 又は 1/4 SwagelokTM	φ114CF	強制空冷方式 (冷却ファン)	1.9kg