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シリーズ
小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q取扱企業
アリオス株式会社商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 放電室 | マイクロ波入力 | 放電室内径 | グリッド穴口径 | ベーキング | 真空封止 | ガス導入口 | 接続フランジ | 冷却方法 | 質量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
EMIS-111Q |
要見積もり |
石英 |
MAX 150W |
φ26mm |
φ2.8mm×19 |
最大 150℃ (フランジ部分のみ) |
Oリングシール (放電管部) |
1/4 VCRTM 又は 1/4 SwagelokTM |
φ114CF |
強制空冷方式 (冷却ファン) |
1.9kg |