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マイクロ波イオン源 EMIS-221C-EMIS-221C
マイクロ波イオン源 EMIS-221C-アリオス株式会社

マイクロ波イオン源 EMIS-221C
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

EMIS-221Cはセラミック放電管タイプで、チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源です。 超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られます。イオンドーピング、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。

■特徴

・プラズマ室は高純度アルミナ製で、金属汚染の少ないイオンが得られます。 ・完全金属シール構造により、MBE装置など各種超高真空装置に使用可能です。 ・加速用高圧電源 (オプション) の使用により、イオン加速が可能です。 (ラジカル源、プラズマ源としても使用可能です。) ・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。 ・シーケンサやパソコンによる外部制御が可能です。

■標準構成

・EMRS-221C イオン源本体 1台 ・MP-201B 200Wマイクロ波電源 1台 ・ケーブル類 (MP-201B標準添付品参考) 1式

  • シリーズ

    マイクロ波イオン源 EMIS-221C

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マイクロ波イオン源 EMIS-221C 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大出射口径 ベーキング ガス導入系 接続フランジ 冷却方法 点火装置 質量
マイクロ波イオン源 EMIS-221C-品番-EMIS-221C

EMIS-221C

要見積もり

50mm

最大 200℃ (導波管部は最大 60℃)

φ34CF ポート 2系統

φ114CF

強制空冷 (冷却水は不要)

高電圧パルス印加タイプ (自動)

5.5kg

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この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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