マイクロ波イオン源 EMIS-221C
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この製品について

■概要EMIS-221Cはセラミック放電管タイプで、チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源です。 超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られます。イオンドーピング、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。

■特徴・プラズマ室は高純度アルミナ製で、金属汚染の少ないイオンが得られます。
・完全金属シール構造により、MBE装置など各種超高真空装置に使用可能です。
・加速用高圧電源 (オプション) の使用により、イオン加速が可能です。 (ラジカル源、プラズマ源としても使用可能です。) 
・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。
・シーケンサやパソコンによる外部制御が可能です。

■標準構成・EMRS-221C イオン源本体 1台
・MP-201B 200Wマイクロ波電源 1台
・ケーブル類 (MP-201B標準添付品参考) 1式

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マイクロ波イオン源 EMIS-221C

取扱企業
アリオス株式会社

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マイクロ波イオン源 EMIS-221C 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大出射口径	ベーキング	ガス導入系	接続フランジ	冷却方法	点火装置	質量
	EMIS-221C	要見積もり	50mm	最大 200℃ (導波管部は最大 60℃)	φ34CF ポート 2系統	φ114CF	強制空冷 (冷却水は不要)	高電圧パルス印加タイプ (自動)	5.5kg