マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q
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この製品について

■概要EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。プラズマ源としてもご利用頂けます。

■特徴・プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認できます。
・ラジカル源用途以外に、加速用高圧電源 (オプション) の使用によりイオン加速が可能です。
・各種活性ガスの導入が可能です。
・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。

■標準構成・ラジカル源 (EMRS-211Q) 本体 1台
・200Wマイクロ波電源 (MP-201B) 1台
・ケーブル類 (MP-201B 標準添付品参考) 1式

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

取扱企業
アリオス株式会社

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マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大出射口径	ベーキング	ガス導入系	接続フランジ	冷却方法	点火装置	質量
	EMRS-211Q	要見積もり	25mm	最大 150℃ (導波管部は最大 60℃)	φ34CFポート 2系統	φ114CF 取付け	強制空冷 (冷却水は不要)	高電圧パルス印加タイプ (自動)	4.7kg