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マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-EMRS-211Q
マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-アリオス株式会社

マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。プラズマ源としてもご利用頂けます。

■特徴

・プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認できます。 ・ラジカル源用途以外に、加速用高圧電源 (オプション) の使用によりイオン加速が可能です。 ・各種活性ガスの導入が可能です。 ・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。

■標準構成

・ラジカル源 (EMRS-211Q) 本体 1台 ・200Wマイクロ波電源 (MP-201B) 1台 ・ケーブル類 (MP-201B 標準添付品参考) 1式

  • シリーズ

    マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

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マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大出射口径 ベーキング ガス導入系 接続フランジ 冷却方法 点火装置 質量
マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-品番-EMRS-211Q

EMRS-211Q

要見積もり

25mm

最大 150℃ (導波管部は最大 60℃)

φ34CFポート 2系統

φ114CF 取付け

強制空冷 (冷却水は不要)

高電圧パルス印加タイプ (自動)

4.7kg

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この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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