全てのカテゴリ

閲覧履歴

マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-EMRS-211Q
マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-アリオス株式会社

マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q
アリオス株式会社

アリオス株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

0.9時間

返信のとても早い企業


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要

EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。プラズマ源としてもご利用頂けます。

■特徴

・プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認できます。 ・ラジカル源用途以外に、加速用高圧電源 (オプション) の使用によりイオン加速が可能です。 ・各種活性ガスの導入が可能です。 ・マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。

■標準構成

・ラジカル源 (EMRS-211Q) 本体 1台 ・200Wマイクロ波電源 (MP-201B) 1台 ・ケーブル類 (MP-201B 標準添付品参考) 1式

  • シリーズ

    マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

この製品を共有する


10人以上が見ています


返答率: 100.0%

返答時間: 0.9時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大出射口径 ベーキング ガス導入系 接続フランジ 冷却方法 点火装置 質量
マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q-品番-EMRS-211Q

EMRS-211Q

要見積もり

25mm

最大 150℃ (導波管部は最大 60℃)

φ34CFポート 2系統

φ114CF 取付け

強制空冷 (冷却水は不要)

高電圧パルス印加タイプ (自動)

4.7kg

アリオスの取り扱い製品

アリオスの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

0.9時間

会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2024 Metoree