Vectorシリーズ (Siウェハ・化合物半導体向け) ダイヤモンドブレードの内周刃用潤滑液 VECTOR HTI1.1-VECTOR HTI1.1

Vectorシリーズ (Siウェハ・化合物半導体向け) ダイヤモンドブレードの内周刃用潤滑液 VECTOR HTI1.1
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この製品について

■製品情報・研磨液、ラッピング・ポリシング用スラリーのサスペンション剤、洗浄剤などがあります。
・5ガロン・55ガロン入りがあります。

■製品についてVECTOR HTI-1.1は、ダイヤモンドブレードまたはダイヤモンドワイヤーを使用した「ワンススルー」プロセスで使用するために開発された合成製剤です。 卓越した熱伝達能力を備えたVECTORHTI-1.1は、ダイヤモンドのブレードまたはワイヤーをすばやく冷却してダイヤモンドの寿命を延ばします。また、製品の優れた洗浄力により、ダイヤモンドの界面を清潔に保ち、切断速度を上げ、ブレードまたはワイヤーのたわみを低減します。

ソーラーシリコンウエハーの製造用には、シリコンスラブとインゴットをブロック状に切断するためのワンススルー クーラントとして VECTOR HTI-1.1 をお勧めします。VECTOR HTI-1.1は、ダイヤモンドワイヤークロッピングやスクエアソーに典型的な高速での一貫した持続可能な切断を可能にします。

VECTOR HTI-1.1は、エッジグリンディングシリコンインゴットおよびウェーハの非再循環クーラントとしても使用できます。VECTOR HTI-1.1は、「ワンスルー」システムでのみ使用できます。

■利点ブレードの消耗減／生産性の増大／サブサーフェスダメージが低い／ねじれやよれが少ない／ブレードのゆがみを低くする／チッピングをなくします／基板の割れをなくします／機械や仕事場をよりきれいできる

■使用方法400対1の割合 (0.25%) で水に希釈して使用します。希釈率は、伝導率やpH値を保つようにしてください。安定した結果を出す為、使用の際は適切に希釈したものを計測の上で記録し、結果を基に製造規定基準を作成する事を推奨します。界面活性剤とのイオン干渉を無くす為、純水を使用する事を推奨します。ただし、水質が一定であれば、軟水または市水の使用も可能です。