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メタライズ・ろう付技術が生み出すセラミックと金属の高気密接合品 螺旋穴絶縁パイプ (スパッタ装置・CVD装置用) -カワソーテクセル株式会社

メタライズ・ろう付技術が生み出すセラミックと金属の高気密接合品 螺旋穴絶縁パイプ (スパッタ装置・CVD装置用)
カワソーテクセル株式会社

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この製品について

プロセスガス導入時の放電発生抑制に最適 セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。螺旋形状にすることで、直線的な放電の発生を抑制することができます。また、単なるストレートパイプ仕様とは異なり、全長は同じでも絶縁距離をより長く確保することができます。

■特長

・電極間の距離、ガス流路距離を長くすることによる、放電発生の抑制。 ・絶縁距離の確保により、装置の省スペース化に寄与。 ・エッチング・成膜用のプラズマ処理装置およびCVD装置・スパッタ装置などに採用。 各種プロセスガスの使用に最適な、螺旋穴絶縁パイプを是非お試しください。

■標準仕様品 特性

・気密性:1.0x10-10Pa·m3/sec以下 ・流路長:約190mm

■カスタムオーダー螺旋穴絶縁パイプ

・標準仕様品からの選択ができない場合は、カスタムオーダーでの製作もできます。 ・ご希望の形状・寸法に基づき、最適な設計を提案します。

  • シリーズ

    メタライズ・ろう付技術が生み出すセラミックと金属の高気密接合品 螺旋穴絶縁パイプ (スパッタ装置・CVD装置用)

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カワソーテクセル株式会社

会社概要

カワソーテクセル株式会社は、電力系資機材やメタライズ製品の製造と販売を主な事業としている企業です。 創業は1877年、愛知県瀬戸市で食器製造業を開始、1988年に現社名に変更、本社の他に広島に支店と工場を、東京に営業所...

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  • 本社所在地: 大阪府

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