コート剤プレインコート系 BRTシリーズ
日化精工株式会社

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この製品について

半導体ウェーハのワックスレス研磨時に発生するキズや吸着マークを防止し、裏面の影響を受けない平坦性が得られた高精度ウェーハの生産に寄与します。光学系ではレンズのヤケ防止やエッチング時の保護、加工時に起こるキズ・カケの発生を抑え、研磨液や砥粒から守ります。ユーザーのニーズに合わせた剥離タイプや耐薬品タイプ等を選べる、幅広い製品群が魅力です。