コンタミネーションフリーで試料作製と分析をクロスリンク真空クライオトランスファー装置 EM VCT500-EM VCT500

コンタミネーションフリーで試料作製と分析をクロスリンク真空クライオトランスファー装置 EM VCT500
ライカマイクロシステムズ株式会社

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この製品について

真空機器から大気圧系前処理装置まで幅広く、試料の搬送ができます。

■コンタミネーションフリーで試料作製と分析をクロスリンク常温でも、クライオ試料の場合もコンタミネーションフリーな真空トランスファーが可能。試料の真空低温搬送が可能なシャトルシステムを採用。シャトルのロードロックは、SEMの分解能を維持し、振動を防ぐ特殊設計です。

■特長・室温で使用する時も、クライオ試料の時もコンタミネーションフリーな真空トランスファーが可能
・解析ツールの負担を最小限に低減
・解析ツールの分解能を確保
・個別の作製および分析が可能
・同じ試料を繰り返し試料作製可能

■ライカEM VCT500 クロスリンクライカEM VCT500 真空クライオトランスファーシステムは各種の装置とリンクすることが可能です。クライオSEMをはじめとする真空系、また、グローブボックスなども接続できるため、大気非曝露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションシステムを構築できます。