半導体検査顕微鏡 DM8000 M
ライカマイクロシステムズ株式会社

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この製品について

最新の光学技術で、生産性の改善に貢献

■斜め照明観察i-line UV照明に斜め照射機能を組み合わせ、試料に対して一定の角度から照明を行うことで3D超解像度を実現し、迅速・容易に効率的な観察を可能にします。

■LED照明による理想的なエアーフローすべての観察法に対応するLED照明を本体に内蔵。顕微鏡まわりに理想的なエアーフローを実現すると同時に、省スペース・省電力などにも貢献します。

■コントラストマネージャー  (DM8000 M/DM12000 M)  明視野・暗視野・微分干渉・UVの各観察法をワンボタンで簡単に切り替え可能。顕微鏡から目を離さず、観察法を切り替えられ、快適な作業が可能になります。

■最大6インチまでの大型部品を迅速にスキャンマクロ対物レンズを使用して、35.7mmの広い視野を一度に観察できます。従来のスキャニング用対物レンズよりも30％大きな視野で、欠陥箇所、膜厚の不均一などを見逃しません。