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常温接合装置 SATERA-SATERA
常温接合装置 SATERA-株式会社セルバック

常温接合装置 SATERA
株式会社セルバック



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この製品について

Satera (常温接合装置) は、独自のプラズマ表面活性化技術と高位置精度の組み合わせで、メモリの3次元積層、CMOSイメージセンサ向けに対応した装置です。

  • シリーズ

    常温接合装置 SATERA

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常温接合装置 SATERA 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
常温接合装置 SATERA-品番-SATERA

SATERA

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使用用途

#樹脂接合 #金属接合 #異種材料接合 #表面改質 #接着強化 #微細加工 #半導体製造 #電子部品製造 #医療機器製造 #自動車部品製造 #ディスプレイ製造 #フィルム加工

プラズマ生成方式

高周波放電型 スリットノズル型

結合対象素材

樹脂基材型 金属基材型 ガラス基材型 異種材料型

表面改質機構

官能基導入型 表面エッチング型 汚染除去型

電源電圧 V

100 - 200 200 - 250

消費電力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500

重量 kg

0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 150 150 - 500

処理幅 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 300

使用ガス

アルゴン ヘリウム 空気 酸素 窒素

警報回路

インターロック異常 ファン回転異常警報 過電流警報 空気圧異常 低電流警報

ノズル径幅 mm

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40

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