真空空間のハイパワー冷却に 真空フランジ付きSC-UERF FPSCモジュール
株式会社ツインバード
この製品について
■-100℃で15Wの冷却能力を実現
-100℃以下での厳密な温度管理に適しています。物体の熱容量と温度に応じて、冷却能力と速度を微調整できます。■冷却ヘッド用の真空フランジとマウント部品が取り付けられています
SC-UERFのフランジは、真空チャンバーに簡単に取り付けるように設計されています。真空構造の断熱効果が高く、厳密な温度制御が可能です。冷却ヘッド用の取付部品も取り付けられています。■ファンはケースに統合され、駆動基板は分離しています
ファンは、クーラーの最適な放熱のため、ケースと一体化されています。駆動基板は、ケースとは別に配置できるので、システムの熱設計が自由にできます。■用途例：半導体プロセス、精密な温度制御
・半導体プロセス装置 精密な温度設定と低振動の動作を可能とするFPSCは高精度でスループットの高い半導体プロセスに寄与します。 ・精密な温度制御 真空空間を保つことで、冷却対象の温度を精密に制御できます。-
シリーズ
真空空間のハイパワー冷却に 真空フランジ付きSC-UERF FPSCモジュール
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取扱企業
株式会社ツインバード
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カテゴリ
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真空空間のハイパワー冷却に 真空フランジ付きSC-UERF FPSCモジュール 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 寸法 | 質量 | 電源電圧 | 最大電流 | 冷却能力 | 使用温度範囲 | 冷却部の設定温度d | 騒音 | 付属品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SC-UERF |
要見積もり | WHL：180x170x435 (mm) | 12kg | DC48 V | 9A | 15 Watts at -100℃ at cooling head (周囲温度：25℃) | 0℃~40℃ | -20℃以下 | 55dB (A) (安定時、距離：クーラーから水平方向に1m) |
駆動基板 |
