静電気拡散アルミナ膜-静電気拡散アルミナ膜
静電気拡散アルミナ膜-アスザック株式会社

静電気拡散アルミナ膜
アスザック株式会社

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この製品について

電気を通しやすい特殊なアルミナコートです。通常のアルミナ製品の表面に塗布して除電効果を付加することができます。 セラミックスは、基本的に電気を通さない”絶縁材料”として広く使用されています。しかし、セラミックス製搬送ハンドの場合、ご使用環境によっては、静電気がロボットハンドに帯電してしまい、ウエハ上の微細な回路を破損させてしまう原因となります。 そこで、アスザックは、ロボットハンドに帯びた静電気を逃しやすくさせるため、アルミナハンドの表面に導電性コートを施すことに着目、実証実験を繰り返し、表面抵抗値を下げることに成功しました。 通常、絶縁材としてのアルミナの表面抵抗値は1.0×1015 Ωですが、コーティングにより、1.0×106~1.0×1010Ω まで下げることができます。

■この黒色・静電気拡散アルミナ膜には他にもたくさんメリットがございます。

・静電気対策に有効な表面抵抗値をカバー。 ・フッ素樹脂コートより「導電性」・「耐熱性」・「密着性」に優れている。 ・SiCと比較してコストが低い。 ・コート処理なので必要な時に必要な分だけ適用できる。 ・黒色は光の反射防止の効果があり、光学関連用途の部材に最適。 ・高純度アルミナであるため、コンタミの発生を抑止できる。 搬送ハンドのみならず、ウエハ突き上げピンやチャンバー内部品などにも対策を施すことができます。また、オプションで、コートの色が象牙色のものもご用意。周辺部材のアルミナ色との調和が必要な場合、お選びできます。

■特長

・静電気対策に有効な表面抵抗値を有する ・パーティクルやコンタミのリスクが少ない ・高耐熱性

  • シリーズ

    静電気拡散アルミナ膜

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静電気拡散アルミナ膜 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 用途 材質
静電気拡散アルミナ膜-品番-静電気拡散アルミナ膜

静電気拡散アルミナ膜

要見積もり ウエハ搬送用 (大気用・真空用) アルミナ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アスザック株式会社は、半導体や液晶製造装置、搬送装置といったファインセラミックス製品や、縁石やマンホール、側溝といったコンクリート関連製品、気象センサや農業用センサといったセンサー関連製品、門扉やフェンスといったアルミ関...

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  • 本社所在地: 長野県
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